掩膜關(guān)鍵尺?(CD) 測(cè)量系統(tǒng)

高精度紫外光學(xué)量測(cè)解決方案，助力先進(jìn)掩膜制造工藝

MT270UV 是專(zhuān)為半導(dǎo)體掩膜制造中的關(guān)鍵尺?(Critical Dimension, CD)測(cè)量?設(shè)計(jì)的?性能光學(xué)量測(cè)系統(tǒng)，?持最?尺?達(dá)9英?的掩膜測(cè)量，覆蓋?65nm節(jié)點(diǎn)的先進(jìn)晶圓制造需求。

該系統(tǒng)采??穩(wěn)定性紫外光源，并對(duì)光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)?深度優(yōu)化，使關(guān)鍵尺?測(cè)量的重復(fù)性?xún)?yōu)于2nm，確保測(cè)量結(jié)果的?度?致性與可靠性。

憑借超過(guò)20年的技術(shù)積累與持續(xù)優(yōu)化，MT270UV 已在全球主流掩膜制造企業(yè)實(shí)現(xiàn)?泛部署與驗(yàn)證，成為?業(yè)內(nèi)公認(rèn)的標(biāo)準(zhǔn)化關(guān)鍵尺?測(cè)量設(shè)備。其成熟、穩(wěn)定、可靠的性能表現(xiàn)，為掩膜制造過(guò)程中的質(zhì)量控制提供了堅(jiān)實(shí)保障。