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TB2000

面向28nm及以下技術(shù)節(jié)點客戶

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方案優(yōu)勢

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    高靈敏度

    • 可穩(wěn)定抓取尺寸 30nm 及以上缺陷

    • 先進的信號處理算法，有效提高信噪比

    • 深紫外寬波段，可抓取各種類型缺陷

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    高Throughput

    • 高data rate

    • 多種pixel size 選擇

    • 支持high speed 掃描模式

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    智能軟件支持

    • 在線智能分類系統(tǒng)SDA

    • 工藝窗口驗證

    • 支持design care area

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    自主可控國產(chǎn)供應鏈

    • 深紫外大通量成像系統(tǒng)

    • 高速深紫外TDI

    • 高功率LSP光源

    • 超精密運動臺

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