DaVinci 套刻誤差精密量測系統(tǒng)

?向先進(jìn)晶圓制造的高精度 Overlay 量測平臺

DaVinci 系列是專為半導(dǎo)體晶圓制造流程中套刻誤差(Overlay)量測設(shè)計(jì)的?精度量測系統(tǒng)，采?創(chuàng)新的結(jié)構(gòu)框架與全?動化操作架構(gòu)，提供穩(wěn)定可靠、精度達(dá)亞納?級的套刻誤差量測能?。 

系統(tǒng)特別?向 Foundry 客戶的?階?藝需求，結(jié)合?機(jī)友好的軟件界?、?動化配?(recipe)?成與優(yōu)化功能，極?簡化操作流程，提升測量效率與?致性。同時(shí)，系統(tǒng)內(nèi)建標(biāo)準(zhǔn) SECS/GEM 通訊協(xié)議，確保與 Fab ?動化系統(tǒng)?縫集成，?持量產(chǎn)環(huán)境下的?通量需求。