方案優(yōu)勢(shì)
產(chǎn)品參數(shù)
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                                                TZDI-40 
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                                                TZDI-35 
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                                                TZDI-25 
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                                                TZDI-12 
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                                                - 
                                                                    平臺(tái)類型 雙臺(tái)面 
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                                                                    最大曝光尺寸(mm) 630×810 
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                                                                    基板厚度(mm) 0.025 - 6 
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                                                                    最小線寬線距(μm) 40 
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                                                                    量產(chǎn)線寬線距(μm) 60 
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                                                                    線寬精度 ±10% 
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                                                                    對(duì)位精度(μm) ±12 
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                                                                    層間對(duì)位精度(μm) 24 
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                                                                    景深(μm) ±300 
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                                                                    單機(jī)產(chǎn)能 8.5 秒/ 面 @20mj/cm2 
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                                                                    自動(dòng)線產(chǎn)能 7 秒/ 片 @20mj/cm2 
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                                                                    推薦應(yīng)用 MLB( 內(nèi)外層 ),陶瓷基板 
 
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                                                - 
                                                                    平臺(tái)類型 雙臺(tái)面 
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                                                                    最大曝光尺寸(mm) 630×810 
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                                                                    基板厚度(mm) 0.025 - 6 
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                                                                    最小線寬線距(μm) 35 
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                                                                    量產(chǎn)線寬線距(μm) 50 
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                                                                    線寬精度 ±10% 
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                                                                    對(duì)位精度(μm) ±10 
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                                                                    層間對(duì)位精度(μm) 20 
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                                                                    景深(μm) ±300 
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                                                                    單機(jī)產(chǎn)能 8.5 秒/ 面 @20mj/cm2 
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                                                                    自動(dòng)線產(chǎn)能 7 秒/ 片 @20mj/cm2 
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                                                                    推薦應(yīng)用 MLB( 內(nèi)外層 ),陶瓷基板 
 
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                                                - 
                                                                    平臺(tái)類型 雙臺(tái)面 
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                                                                    最大曝光尺寸(mm) 630×810 
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                                                                    基板厚度(mm) 0.025 - 6 
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                                                                    最小線寬線距(μm) 25 
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                                                                    量產(chǎn)線寬線距(μm) 40 
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                                                                    線寬精度 ±10% 
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                                                                    對(duì)位精度(μm) ±10 
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                                                                    層間對(duì)位精度(μm) 20 
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                                                                    景深(μm) ±200 
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                                                                    單機(jī)產(chǎn)能 10 秒/ 面 @20mj/cm2 
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                                                                    自動(dòng)線產(chǎn)能 8.5 秒/ 片 @20mj/cm2 
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                                                                    推薦應(yīng)用 MLB( 內(nèi)外層 ),陶瓷基板 
 
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                                                - 
                                                                    平臺(tái)類型 雙臺(tái)面 
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                                                                    最大曝光尺寸(mm) 630×810 
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                                                                    基板厚度(mm) 0.025 - 6 
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                                                                    最小線寬線距(μm) 12 
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                                                                    量產(chǎn)線寬線距(μm) 20 
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                                                                    線寬精度 ±10% 
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                                                                    對(duì)位精度(μm) ±7 
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                                                                    層間對(duì)位精度(μm) 16 
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                                                                    景深(μm) ±150 
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                                                                    單機(jī)產(chǎn)能 12 秒/ 面 @20mj/cm2 
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                                                                    自動(dòng)線產(chǎn)能 12秒/ 片 @20mj/cm2 
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                                                                    推薦應(yīng)用 IC substrate, SLP 
 
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                                                                            ![15[1]_0015_VMZ高精度影像儀.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/15[1]0015VMZgaojingduyingxiangyi.png) 
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                            ![15[1]_0004_VMU高端影像儀.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250510/15[1]0004VMUgaoduanyingxiangyi.png) 
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                            ![15[1]_0010_CMZ計(jì)量型三坐標(biāo)測(cè)量.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/15[1]0010CMZjiliangxingsanzuobiaoceliang.png) 
                                                                            ![15[1]_0012_CMU高精度三坐標(biāo).png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/15[1]0012CMUgaojingdusanzuobiao.png) 
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                            ![15[1]_0019_Vela-03X桌面式系列.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250510/15[1]0019Vela03Xzhuomianshixilie.png) 
                                                                            ![15[1]_0016_Vela-23X-M高速直線電機(jī)系列.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250510/15[1]0016Vela23XMgaosuzhixiandianjixilie.png) 
                                                                            ![15[1]_0017_Vela-23-C自動(dòng)上下料系列.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250510/15[1]0017Vela23Czidongshangxialiaoxilie.png) 
                                                                            ![15[1]_0020_Vela-23X標(biāo)準(zhǔn)在線系列.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250510/15[1]0020Vela23Xbiaozhunzaixianxilie.png) 
                                                                             
                                                                            ![15[1]_0025_TB1500.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/15[1]0025TB1500.png) 
                                                                             
                                                                            ![15[1]_0024_DaVinci-G5.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/15[1]0024DaVinciG5.png) 
                                                                             
                                                                            ![15[1]_0021_SPECTOR-M-5500(掩膜測(cè)量與檢測(cè)).png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/15[1]0021SPECTORM5500yanmoceliangyujiance.png) 
                                                                            ![15[1]_0023_MT270.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/15[1]0023MT270-785.png) 
                                                                            ![15[1]_0015_VMZ高精度影像儀.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/686e4d9014835.png) 
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                            ![15[1]_0004_VMU高端影像儀.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250510/686e4d901a139.png) 
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                            ![15[1]_0010_CMZ計(jì)量型三坐標(biāo)測(cè)量.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/686e4de3557af.png) 
                                                                            ![15[1]_0012_CMU高精度三坐標(biāo).png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/686e4de35ada3.png) 
                                                                            ![15[1]_0014_CME經(jīng)濟(jì)型三坐標(biāo).png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/686e4de361427.png) 
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                            ![15[1]_0003_扁線電機(jī)定子生產(chǎn)線.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/15[1]0003bianxiandianjidingzishengchanxian.png) 
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                            ![15[1]_0015_VMZ高精度影像儀.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/686e4d9d92ae1.png) 
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                            ![15[1]_0004_VMU高端影像儀.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250510/686e4d9d97915.png) 
                                                                             
                                                                             
                                                                             
                                                                            ![15[1]_0010_CMZ計(jì)量型三坐標(biāo)測(cè)量.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/686e4e038c914.png) 
                                                                            ![15[1]_0012_CMU高精度三坐標(biāo).png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/686e4e039204b.png) 
                                                                            ![15[1]_0014_CME經(jīng)濟(jì)型三坐標(biāo).png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/686e4e0398f2b.png) 
                                                                             
                                                                             
                     
                 
                             
                                                                        