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天準(zhǔn)半導(dǎo)體紅外測量系統(tǒng)在全球處于頭部地位。系統(tǒng)將高性能紅外相機(jī)與設(shè)計優(yōu)化的紅外光學(xué)結(jié)合,提供具備出色分辨率和對比度的圖像,實現(xiàn)基板的頂部、底部和內(nèi)部結(jié)構(gòu)的有效測量。

主要特點

設(shè)計優(yōu)化的整套紅外光學(xué)系統(tǒng),紅外波長最高支持1500nm

支持定制適用于不同產(chǎn)品的自動化搬運(yùn)方案 

可見光和紅外光組合,反射光和透射光組合 

SECS/GEM

IRIS
主要特點

支持定制適用于不同產(chǎn)品的自動化搬運(yùn)方案

可見光和紅外光組合,反射光和透射光組合

SECS/GEM

長期維護(hù)成本低,穩(wěn)定可靠

MT3000VIS/IR
主要特點

全自動測量

可見光和紅外光組合,反射光和透射光組合

SECS/GEM

長期維護(hù)成本低,穩(wěn)定可靠

MT2010VIS/IR
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